冷水机真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件外表结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力形成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以需在高真空下才干使结晶体细密光亮，果如真空度不高结晶体就会失去光泽分离力也很差。早期真空镀膜是依托蒸发体自然散射，分离差工效低光泽差。如今加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）堆积在基片上成膜，处理了过去自然蒸发无法加工的膜体种类，如镀钛镀锆等等。